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電子顯微鏡結(jié)構(gòu)

更新時(shí)間:2020-12-31      點(diǎn)擊次數(shù):2586

電子顯微鏡結(jié)構(gòu)

   電子顯微鏡是當(dāng)前應(yīng)用廣泛的一種顯微鏡,他可以把很細(xì)小的物體放大到2000倍,并且可以通過(guò)電子顯微鏡能夠清楚的觀察到金屬原子的結(jié)構(gòu),甚至是半導(dǎo)體原子整體排列的狀況,電子顯微鏡是一件非常神奇的儀器,那么電子顯微鏡結(jié)構(gòu)是怎樣的呢?下面小編來(lái)給大家介紹。

 

電子顯微鏡結(jié)構(gòu):

 

電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

 

鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測(cè)器等部件,這些部件通常是自上而下地裝配成一個(gè)柱體。 

 

 

電子透鏡用來(lái)聚焦電子,是電子顯微鏡鏡筒中重要的部件。一般使用的是磁透鏡,有時(shí)也有使用靜電透鏡的。它用一個(gè)對(duì)稱(chēng)于鏡筒軸線的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng)使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦,其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡(凸透鏡)使光束聚焦的作用是一樣的,所以稱(chēng)為電子透鏡。光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的,而電子透鏡的焦點(diǎn)可以被調(diào)節(jié),因此電子顯微鏡不像光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動(dòng)的透鏡系統(tǒng)。

 

現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡,由很穩(wěn)定的直流勵(lì)磁電流通過(guò)帶極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)使電子聚焦。電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極,柵極,一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽(yáng)極構(gòu)成的。陰極和陽(yáng)極之間的電壓差必須非常高,一般在數(shù)千伏到3百萬(wàn)伏特之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束,所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于萬(wàn)分之一。

 

樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上,此外往往還有可以用來(lái)改變樣品(如移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫、拉長(zhǎng)等)的裝置。探測(cè)器用來(lái)收集電子的信號(hào)或次級(jí)信號(hào)。真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏向,由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門(mén)等構(gòu)成,并通過(guò)抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。

 

電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

 

以上內(nèi)容就是對(duì)電子顯微鏡結(jié)構(gòu)的介紹了,電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu);掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌,也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合,構(gòu)成電子微探針,用于物質(zhì)成分分析;發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。

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